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CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。带反馈信号装置。主要技术性能 适用范围:105~1.3×10-7Pa阀门漏率:≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200) ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)适用温度:-30~+150℃阀门开启时阀板两侧的压差:≤2.7×103Pa.气源压力:0.4~0.6MPa主要零件材料阀体、阀板:不锈钢密封件:氟橡胶、波纹管(轴封)、*橡胶。